日立全新一代高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术,使其低电压性能大大提升,同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能,使其操作也变得更为简单。
主要特点:
应用领域: 材料科学、生命医学、食品卫生、半导体电子元器件、汽车制造等。
主要参数:
电子枪
预对中钨灯丝
加速电压
0.3kV – 30kV
分辨率
3.0nm@30kV (SE)
15.0nm@1kV (SE)
4.0nm@30kV (BSE, LV)
放大倍率
5x – 300,000x(底片倍率)
7x – 800,000x(显示器倍率)
探测器
二次电子探测器,高灵敏度无分割背散射电子探测器
可变压力探测器UVD 2.0*
低真空可变压力范围
6 – 650Pa
样品台(三轴马达)
X: 0 - 100 mm
Y: 0 – 40 mm
Z: 5 – 65 mm
R: 0 – 360°
T: -20° - +90°
*选配